ADVANTAGE
01
-
表面形状測定器
TTV、SORI、BOWの測定を行います。
MAX300×300まで対応可能です。
ADVANTAGE
02
-
ウエハー厚さ測定器
ガラスウエハーの実板厚を測定する接触式の板厚測定器となります。
ADVANTAGE
03
-
光学顕微鏡
ガラスの表面付着物、内部異物等の確認を行います。
ADVANTAGE
04
-
原子間力顕微鏡(AFM)
ガラス基板表面の粗さを測定いたします。
ADVANTAGE
05
-
干渉計
光学ガラス基板の平坦度測定を行います。
MAXサイズ 102Φ
ADVANTAGE
06
-
CNC画像測定システム
ガラス形状を測定致します。
CADデータとの比較が出来ます。
